Nel
1612 la Camera Apostolica si dichiara proprietaria dell'area
e vi impianta una fabbrica d'armi che specialmente sotto il
Papa Paolo V fornì ogni sorta di armi.
Durante il XVII sec.
vi trovò posto anche una polveriera, poi una manifattura
di lana.
Pio VI nel 1795 si riappropriò della parte nord del
complesso, fece abbattere le vigne per crearvi un'armeria
dovendo combattere contro gli invasori francesi.
Nel 1802 essa fu rilevata da Luciano Bonaparte per farvi cannoni
e poi fu ceduta nel 1815 alla Duchessa di Chablais.
Dopo
alcuni fallimenti da parte di affittuari nel 1846 inizia
qui la lavorazione del ferro sotto la Società Romana
delle Miniere.
Nel 1884 la Società delle Forze Idrauliche acquista
il complesso avendo già fatto suo a scopo speculativo
il costone settentrionale di Tivoli ricco dei canali deviati
delle acque dell'Aniene.
Da questo momento il Santuario viene del tutto modificato e spaccato in due dal Canale Canevari (1885-86) progettato per raccogliere tutte le acque dei canali deviati lungo il costone settentrionale per poi convogliarli nella costruenda centrale dell'Acquoria. Il
26 agosto 1886 Tivoli fu la prima città italiana ad
essere illuminata con energia elettrica.
Nel 1887 la Società delle Forze Idrauliche si consocia
con la Società Anglo-Romana per dare elettricità
a Roma.
In un secondo momento in una parte dell'edificio vi si insediò
la Cartiera di Mecenate fino agli anni Cinquanta in cui il
Demanio riscattò tutto il complesso.






